图2.22.4 超精密正面车床用真空夹头面板
磁盘（一般使用的材料为高纯度铝基添加Mg的Al-Mg合金）用单结晶钻石工具在超精密端面车床上切削时，一般按图2.22.4所示将工件吸紧在真空夹头面板上进行加工。之所以用真空夹头，是因为夹紧压力是大气压力这样并不大的力，而且开有许多窄的吸气沟，将载荷分布开来，能够将工件产生的变形控制在最小程度。面板采用本身易切削的铝合金，叫作软夹头的夹头表面用聚氨酯橡胶覆盖，用粘结剂粘接或者加热粘接起来，这种方式得到了广泛应用。
软夹头由于切削油剂等原因膨润起来而使精度很快变差，为此不得不频繁地进行自身修正加工，但由于比金属软，因此工件的贴合性好。
由于上述切削油的膨润缺点，聚氨酯橡胶软夹头自身要进行修正切削，还没有见到有公司生产替代品，但有使用聚四氟乙烯树脂的多孔质体（由烧结用的粒子制成）良好的研究报告。对于夹头材料机能的要求，可以考虑下列项目：
1）材料即使有少许形状误差也是容许的，为了尽量使工件不变形而要使夹具的材料比工件软。
2）受损伤而变形的表面要能自身修正切削。
3）在切削油作用下不发生膨润。
4）为了在切削时工件夹紧牢固，摩擦系数要高。
聚四氟乙烯树脂既不膨润，可加工性也好，而且摩擦系数在0.3～0.4之间，因此成为能满足上述软夹头机能要求的材料之一。用该材料做成的软夹头进行加工试验时，据报告得到了接近于硬夹头的性能。
使用硬夹头时，夹头面和与此相贴的工件表面的精度十分重要。例如，图2.22.5所示为镜头的模具加工，基准面的表面粗糙度、平面度等若不能控制在这个镜头使用光波长λ的1/8以下，则夹具一松开就会出现变形（松下电器产业）。
工件尽量在保持原样的自然状态下支持为好。例如，机床机座的导轨装配面在铲括等作业时，在自然状态（无变形）下放在地板上，不用锚定螺栓固定的状态下进行为好。在用锚定螺栓支承下进行铲括加工等，从开始工件就有了变形。但是在把床座的柔度设计得充分小的同时，锚定螺栓的节距带来的床座变形必须设定在某个容许值以下。
加工柔度大（弱的）的工件时，下功夫将其全体支承并和支承一起进行切削是个方法。如图2.22.6所示的零件，做和工件全体密合的电木模型与工件一起切削（三菱电机生产技术研究所），若孔的位置符合，则可以使用很多次。
图2.22.5 超精密模具的加工（松下电器产业）(www.xing528.com)
图2.22.6 薄板加工时的无变形装夹实例（三菱电机生产技术研究所）
用粘接的方法对工件进行无变形固定的方法也有使用，如用石蜡固定的方法（三菱电机生产技术研究所）。市面上销售的有软化温度各异的各种石蜡，但一般常用在60～70℃熔化的石蜡。首先，将夹具用电加热，在其上放上石蜡熔化之，然后把工件放上去，石蜡冷却即可粘接住（图2.22.7）。拆卸时再进行加热而拆开。有时使用两面粘接布代替石蜡。
柔度大而薄难以夹住的工件在接近于无变形状态下夹持的例子如图2.22.8所示。这里用24个针状的突起来支承工件。这个φ36mm的夹紧部分，厚度仅1mm。其他支承方法的例子如图2.22.9所示，加工后的工件与固定部位之间切得很薄，将固定部位折断即可将工件取出。
图2.22.7 用石蜡来进行无变形支承（三菱电机生产技术研究所）
图2.22.8 用多针状突起进行变形支承的实例（津上）
以上为无变形支承或者接近于无变形的支承法的几个具体实例，要说明的是实现无变形支承的基本方法。
【系1】为了对工件进行无变形支承，在工件现有的状态下，必须用尽可能大的面积和用尽可能小的力来支承。
【系2】支承工件时，必须使工件加工处有全部同样的柔度值。
做不到这一点时，必须使由于加工力而产生的变形限制在许可值以下，对加工条件加以限制。
图2.22.9 加工后折断固定部位的例子（津上）
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