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液态金属芯片制造产业的发展趋势

时间:2023-06-08 理论教育 版权反馈
【摘要】:作为芯片制造的根本,首先需要将液态金属根据设计好的电路图高精度、高效率的沉积到基底作为器件的电极。针对工业级芯片批量制造,其主要研发和生产任务包括:a.液态金属大规模印刷装置;b.液态金属大面积喷涂设备;c.液态金属卷对卷批量转印设备。半导体及介电材料的沉积是集成电路制造极为重要的一环,需要将半导体材料准确沉积到液态金属电极间沟道处,并保证与电极有优异的接触特性。③芯片的封装与测试。

液态金属芯片制造产业的发展趋势

(1)芯片设计

根据下游客户(系统厂商)的需求设计芯片。可分成几个步骤,依序为:规格制定→逻辑设计→电路布局→布局后模拟→光罩制作。规格制定:工程师和IC设计工程师接触,提出要求;逻辑设计:IC设计工程师完成逻辑设计图;电路布局:将逻辑设计图转化成电路图;布局后模拟:经由软件测试,看是否符合规格制定要求;光罩制作:将电路制作成一片片的光罩,完成后的光罩即送往IC制造公司。提供不同规格、效能的芯片给下游厂商选择。

(2)芯片制造

①液态金属电极的高精度成型。

作为芯片制造的根本,首先需要将液态金属根据设计好的电路图高精度、高效率的沉积到基底作为器件的电极。针对不同的应用领域,其主要研发和生产任务也各不相同,针对个人级芯片制造,研发任务为:a.液态金属电子电路打印机;b.液态金属微流控成型装备。针对工业级芯片批量制造,其主要研发和生产任务包括:a.液态金属大规模印刷装置;b.液态金属大面积喷涂设备;c.液态金属卷对卷批量转印设备。(www.xing528.com)

半导体及介电材料的涂布工艺。

半导体及介电材料的沉积是集成电路制造极为重要的一环,需要将半导体材料准确沉积到液态金属电极间沟道处,并保证与电极有优异的接触特性。而介电层与半导体层之间的界面性质对载流子传输起着关键性作用。在实际工艺过程中,薄膜的沉积工艺为影响半导体和介质薄膜质量和特性的关键因素,两者的沉积工艺必须与当前的或可预期的主流工艺、生产成本和产量相匹配。因此,在这一阶段,其主要研发和生产任务是:分析不同的沉积工艺对半导体层和介电层特性的影响,针对不同的材料与特性,采用不同的制备工艺,比如涂布、旋涂、溅射、沉积、蒸镀、提拉、阵列化微滴加等。

③芯片的封装与测试。

在对芯片进行封装前,需要进行彻底的清洗,此过程可以使用有机溶剂进行超声处理,然后使用高纯气体吹干。封装的流程大致如下:切割→粘贴→模封。切割:将生产的基片切割成长方形的IC;粘贴:把IC粘贴到PCB上;焊接:将IC的接脚焊接到PCB上,使其与PCB相容;模封:将接脚模封起来。其中,封装技术尤为关键,首先需要选择合适的封装材料,如环氧、硅胶、基座、导电胶、固晶材料等。其次,需要设计合理的封装结构,避免因封装结构设计不合理,如材料不匹配、产生应力、引起断裂、开路等。最后,需要选择合适的封装工艺,如装片、压焊、点胶工艺、固化温度及时间等。

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