用湿度发生器和精密露点仪校准气相微量水分仪

（1）校准设备

①配气装置：能配出-80（0.5 ppmV）~-10℃（2 500 ppmV）露点的湿气发生器，推荐采用硫酸鼓泡法，也可采用渗透管配气法。

②测量湿度的标准仪器：能测量-80~-10℃露点的精密露点仪，不确定度不超过±0.5℃范围。

如果现场难以提供精密露点仪，也可采用高精度电解法微量水分仪，测量范围0~2 000 ppmV，基本误差：仪表读数的±5%（<100 ppmV时）或仪表读数的±2.5%（>100 ppmV时）。

③干燥器，经干燥后的氮气含水量应不大于1 ppmV；

④高纯氮气1瓶，减压阀、测温仪器、气压计、精密压力表等。

（2）校准条件

①湿气压力波动不超过±200 Pa。

②气源连接应尽可能短，从配气装置出口到仪器入口连接长度应不大于2 m，整个系统应尽量减少阀门、接头，连接处应以卡套紧固。(www.xing528.com)

（3）校准步骤

①按图10.25所示装接气源系统。

②在标定或校准微量水分仪之前，应先通高纯氮气将其彻底干燥，等降至测量下限以下之后才可进行校准。

③调节湿气发生器，使湿气露点为-70℃（3 ppmV），平衡后记录仪器的读数。

④重复步骤③，每隔10~20℃露点（5~10 ppmV），记录一次读数，直到量程终点。

⑤通过仪表编程，将标定数据输入仪表内，即完成校准。

图10.25　气相微量水分仪校准系统示意图

在工业现场校准微量水分仪时还可以变通执行。例如：可以只采用精密露点仪进行校准，也可以只采用硫酸鼓泡器进行校准；可以校准两个点，也可以只校准一个点。总之，要符合现场实际需要，简便易行。