【摘要】：引起测量误差的主要来源有：平行光管发出的光束不平行引入数值孔径的不确定度u1。步进电机所连接的蜗轮蜗杆传动比为1：74，当蜗轮蜗杆准确地传动时，步进传动系统引入的数值孔径角不确定度≤0.013°，数值孔径的不确定度u2≤0.23×103。光电探测系统的误差引入数值孔径的不确定度u3。光电探测系统在光强最大值的5%处的定位不确定度＜0.05°。仪器软件包计算误差引入仪器数值孔径角的不确定度，由此得出数值孔径不确定度u4＜1.31×103。
引起测量误差的主要来源有：
（l）平行光管发出的光束不平行引入数值孔径的不确定度u1。
平行光管发出的光束发散角为0.14°时，引入的数值孔径角不确定度≤0.035°，数值孔径值的不确定度u1≤0.61×10−3。
（2）步进电机转动系统的误差引入数值孔径的不确定度u2。
步进电机所连接的蜗轮蜗杆传动比为1：74，当蜗轮蜗杆准确地传动时，步进传动系统引入的数值孔径角不确定度≤0.013°，数值孔径的不确定度u2≤0.23×10−3。
（3）光电探测系统的误差引入数值孔径的不确定度u3。
光电探测系统在光强最大值的5%处的定位不确定度＜0.05°。数值孔径的不确定度为0.88×10−3。
（4）软件包计算误差引入数值孔径不确定度u4。(www.xing528.com)
仪器软件包计算误差引入仪器数值孔径角的不确定度，由此得出数值孔径不确定度u4＜1.31×10−3。
（5）自聚焦透镜放置位置偏差引起数值孔径的不确定度u5。
样品的前入射面不垂直于入射平行光，当倾斜引入的不确定度＜0.1°，数值孔径的不确定度u5＜1.75×10−3。
由上述分析可知各不确定度分量，下面用表4−1给出总的合成不确定度。
表4−1 总的合成不确定度
续表
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