【摘要】：扫描电子显微镜是近年来获得迅速发展的一种新型电子光学仪器，它的成像原理与光学显微镜、透射电子显微镜不同，不用透镜放大成像，而是用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发产生某些物理信号来调制成像。扫描电子显微镜的出现和不断完善弥补了光学显微镜和透射电子显微镜的某些不足。它既可以直接观察大块试样，又具有介于光学显微镜和透射电子显微镜之间的性能指标，可以在观察形貌的同时进行微区的成分分析和结晶学分析。
扫描电子显微镜是近年来获得迅速发展的一种新型电子光学仪器，它的成像原理与光学显微镜、透射电子显微镜不同，不用透镜放大成像，而是用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发产生某些物理信号来调制成像。扫描电子显微镜的出现和不断完善弥补了光学显微镜和透射电子显微镜的某些不足（例如景深）。它既可以直接观察大块试样，又具有介于光学显微镜和透射电子显微镜之间的性能指标，可以在观察形貌的同时进行微区的成分分析和结晶学分析。扫描电子显微镜具有样品制备简单、放大倍数连续、调节范围大、景深大、分辨本领比较高等特点，尤其适合于比较粗糙的表面，如金属断口和显微组织三维形态的观察研究等。
场发射电子枪的研制成功，使扫描电子显微镜的分辨本领获得较显著的提高，而且越来越多的附件被安装到扫描电子显微镜中用于获得形貌、成分、晶体结构或位向在内的样品信息，如X射线能量色散谱仪（energy dispersive spectrometer，EDS）、电子能量损失谱仪（electron energy loss spectroscopy，EELS）和电子背散射衍射仪（electron backscatter diffraction system，EBSD）等，以提供样品相关的丰富资料。(www.xing528.com)
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