MEMS技术在光学领域的应用

微机电系统（MEMS），也称微电子机械系统、微系统、微机械等。

无论叫啥，MEMS的特点就是小，非常小，比头发丝还小。

看看早些时候的麦克风和MEMS的麦克风：

怎么做到这么小呢？

电磁感应，这都是初中物理知识。把机械臂与电磁感应圈做成的吸引电极，放一起就是个原型MEMS。

通电—电磁—像磁铁一样把悬臂吸引过来，和传输线就连上了，这是开。

断电—无磁性—悬臂与传输线断开，这是关。

MEMS在各个领域都有应用。

光通信行业怎么用呢，对尺寸小的需求是一定的。比如光衰减器，在MEMS上加反射镜，组装合适的位置。

你看输出光的量，可大可小，这就是可调衰减。

“攻城狮”的设计要复杂得多，要考虑功能、考虑性能、考虑可靠性、考虑客户需求。

MEMS在光学中还有应用吗？这是二维角度的光开关。同样调整反射镜的角度，起到光开关的作用。二维也可以增加输入输出路数。也可以增加到三维或者多维度的开关调用。(https://www.xing528.com)

MEMS在光学上还可以做什么？

· MEMS光开关　　　　　　　

· MEMS光可调滤波　　　　　

· MEMS可调光衰减器　　　　

· MEMS波长选择开关　　　　

· MEMS光分插复用器　　　　

· MEMS光透镜阵列　　　　　

总结：

MEMS：微型化、智能化、多功能、高集成度。

MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性研究领域，涉及自然及工程科的几乎所有领域：电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。各种霸气！