MEMS的基本构造和组成要素

一个完整的微机电系统是由微机构、微传感器、微执行器、微构件、信号处理和控制以及通信接口电路、能源等组成，集信息勘探、处理与控制、执行等功能于一体。下面介绍微机电系统的几个主要组成单元。

（1）微型传感器

微型传感器是MEMS的一个重要组成部分。现在已经形成产品和正在研究中的微型传感器有：压力传感器、力传感器、力矩传感器、加速度传感器、速度传感器、位置传感器、流量传感器、电量传感器、磁场传感器、温度气体成分传感器、湿度传感器、pH传感器、离子浓度和生物浓度传感器、微陀螺传感器、触觉传感器等。微型传感器正朝着集成化和智能化的方向发展。

（2）微型执行器

微型执行器的功能是利用不同原理与执行机构来产生力并实现位移。微型电机是一种典型的微型执行器，可分为旋转式和直线式两种类型，其他的微型执行器还有：微开关、微谐振器、微阀、微泵等。把微型执行器分布成阵列可以收到意想不到的效果，如：可用于物体的搬送、定位、微型执行器的驱动、压电驱动、电磁驱动、形状记忆合金驱动、热双金属驱动、热气驱动等。(www.xing528.com)

（3）微型构件

作为小型或微型机器和设备的构成部分，主要包括微膜、微梁、微控针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等。

（4）真空微电子器件

它是微电子技术、MEMS技术和真空电子学发展的产物，是一种基于真空电子输运器件的新技术，采用已有的微细加工工艺的芯片上制造集成化的微型真空电子管或真空集成电路。目前主要包括场发射显示器、场发射照明器件、真空微电子毫米波器件、真空微电子传感器等。由于电子输运在真空中进行，因此具有极快的开关速度、非常好的抗辐照能力和极佳的温度特性。