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如何确定相位差Δ的值?

时间:2023-07-02 理论教育 版权反馈
【摘要】:式和式中的Δ是物体变形使P、Q点光程差变化而导致的相对相位差。参考图6.3-4,计算变形前、后由P点反射至像平面的光波的光程差:变形前:l=SP+PO,其中:SP2=2+2+2PO2=2+2+2图6.3-4 位移与光程关系变形后:l′=SP′+P′O,其中:SP′2=2+2+2P′O2=2+2+2略去小量后可得到:其中R2o=x2o+y2o+z2o,R2s+x2s+y2sz2s。式与式建立了ES技术中变形与干涉图像之间的联系。

如何确定相位差Δ的值?

式(6.3-3)和式(6.3-4)中的Δ是物体变形使PQ点光程差变化而导致的相对相位差。参考图6.3-4,计算变形前、后由Pxyz)点反射至像平面的光波的光程差:

变形前:l=SP+PO,其中:

SP2=(x-xs2+(y-ys2+(z-zs2

PO2=(x-xo2+(y-yo2+(z-zo2

978-7-111-35953-1-Part06-77.jpg

图6.3-4 位移与光程关系

变形后:l′=SP′+P′O,其中:

SP′2=(x+u-xs2+(y+v-ys2+(z+w-zs2

P′O2=(x+u-xo2+(y+v-yo2+(z+w-zo2

略去小量后可得到:

978-7-111-35953-1-Part06-78.jpg(www.xing528.com)

其中R2o=x2o+y2o+z2oR2s+x2s+y2sz2s

对于在底片上与P成像于同一点的Qx+δxyz),其位移可表达为(u+δuv+δvw+δw),于是与Pxy)点一样,可得光程差表达式:

978-7-111-35953-1-Part06-79.jpg

所以:

978-7-111-35953-1-Part06-80.jpg

其中:

978-7-111-35953-1-Part06-81.jpg

一般情况下RsRo都较大,故:978-7-111-35953-1-Part06-82.jpg978-7-111-35953-1-Part06-83.jpg很小,可以近似认为D=0,而略去。所以有:

978-7-111-35953-1-Part06-84.jpg

此式为错位散斑干涉测量技术的基本关系式。式(6.3-4)与式(6.3-5)建立了ES技术中变形与干涉图像之间的联系。激光全息和ESPI技术得到的干涉条纹图大致可视为等位移图(通常关注离面位移,得到环状条纹图可近似视为等高线图),与之相比,错位散斑得到的干涉条纹图的物理含义复杂,解释更为抽象。

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