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空间滤波器结构类型:信息光学相关内容提要

时间:2023-10-04 理论教育 版权反馈
【摘要】:根据其作用的频率区间,又可细分为低通滤波器、高通滤波器、带通滤波器、方向滤波器。带通滤波器如图6.2.1所示,带通滤波器的功能在于只允许特定区间的频谱成分通过,以提高输出的信噪比。图6.2.3集成电路中掩模疵点的检查2.振幅滤波器振幅滤波器仅改变各频谱成分的相对振幅分布,而不改变其位相分布。

空间滤波器结构类型:信息光学相关内容提要

一般地说,可以在频谱面上插入具有下列形式滤波函数的空间频率滤波器:

依据滤波函数的性质及其对空间频谱的不同作用,空间滤波器具有多种类型,常用的有下列几种。

1.二元滤波器

二元滤波器的滤波函数取0或1。根据其作用的频率区间,又可细分为低通滤波器、高通滤波器、带通滤波器、方向滤波器。

(1)低通滤波器

低通滤波器实际是一个带针孔的不透明模板。选择适当的针孔直径便可使图像中的高频噪声和周期性结构被阻挡,而只允许位于频谱中心及其邻近的低频分量通过〔如图6.2.1(a)所示〕。这种滤波器即5.4节中提到的空间滤波器,由针孔和一个显微物镜组合成(如图6.2.2所示)。针孔安放在显微物镜的焦点处,经过该显微物镜所射出的光被聚焦在针孔上,若所选针孔的直径等于显微物镜衍射光的主瓣宽度,则针孔只能通过平行于光轴入射的光,从而消除了不平行于光轴的光,而获得没有衍射环的纯球面波。

图6.2.1 二元振幅滤波器

图6.2.2 空间滤波器

(2)高通滤波器

如图6.2.1(b)所示,高通滤波器实际是一个中心带不透明小圆屏的透明模片,其功能在于滤去频谱中的低频成分,以增强像的边缘,提高对模糊图像的识别能力,或实现对比度反转。由于能量损失较大,故输出图像一般较暗。(www.xing528.com)

(3)带通滤波器

如图6.2.1(c)所示,带通滤波器的功能在于只允许特定区间的频谱成分通过(信号能量集中在这一频带内),以提高输出的信噪比。这特别适用于抑制周期性信号中的噪声。例如,蛋白质结晶的高倍率电子显微镜照片中的噪声是随机分布的,其频谱也是随机分布的;而结晶本身却有着严格的周期性,其频谱是有规律的点阵列。采用适当的针孔阵列作为滤波器,允许信号的频谱全部通过,而噪声的频谱被挡住,从而有效地改善照片的信噪比。

(4)方向滤波器

方向滤波器也是一种带通滤波器,只是具有较强的方向性。如图6.2.1(d)所示,它实际上是在一定方向上允许通过(或阻挡)频谱分量的光阑,用以突出图像中的方向性特征。方向滤波已用于检查集成电路板的疵病。由于集成电路图形都是由一些规则、正交的矩形线段组成的,其频谱分布在轴线附近,而疵点的形状往往是不规则的,线度也较小,故其频谱必定较宽,在离轴有一定距离处都有分布。采用十字形阻挡光屏就可将轴线附近的信息全部阻挡,提取出疵点的信息,从而突出噪声的谱,显示疵点所在的位置(在4f系统的像面上呈亮点处),如图6.2.3所示。

图6.2.3 集成电路中掩模疵点的检查

2.振幅滤波器

振幅滤波器仅改变各频谱成分的相对振幅分布,而不改变其位相分布。通常是使感光胶片的透过率变化正比于A(fx,fy),从而使透射光场的振幅得到改变。为此,制作时,应按照一定的函数分布来控制底片的曝光量分布,或者在玻璃片基上控制蒸镀的金属膜。

3.位相滤波器

位相滤波器只改变各空间频谱的位相,而不改变其振幅分布。它通常通过在真空镀膜时控制介质膜层的厚度、漂白照相底片或腐蚀透明介质等方法来制作。由于对入射光能量不产生衰减作用,故位相滤波器具有很高的光学效率。但由于工艺上的限制,要得到复杂的位相变化是很困难的。

4.复数滤波器

复数滤波器可同时改变各频谱成分的振幅和位相,滤波函数是复函数。它应用广泛,但制作困难。1963年范德·拉格特(A.Vander Lugt)提出用全息照相方法制作复数滤波器(见7.2节),有力地推动了光学信息处理的发展。1965年罗曼(Lohman)和布朗恩(Brown)用计算全息方法也制作成了复数滤波器,从而克服了制作空间滤波器的重大障碍

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