喷墨打印在MEMS制造中的竞争优势与新技术

本章详细介绍了喷墨打印在MEMS制造中的应用。然而喷墨打印在大多数的MEMS成型和微制造技术的性能上并不具备竞争性，毫无疑问，喷墨打印在MEMS制造中的应用备受关注。

喷墨打印在MEMS制造中的一个关键性优势在本章中大部分的成就中都有提到，就是耗材减少（成本节约）。由于功能材料的复杂性和成本在MEMS中逐渐增加，喷墨打印将针对不同需求继续提供一个低成本的沉积材料的方法。另外，它实现了许多简易溶液处理，例如新材料经旋涂、蒸镀或离子沉积至应用前无需被掺杂。

目前，喷墨头的制造商正在升级喷墨头，使它具有更小的孔径从而提升成像的分辨率。富士胶片Dimatix有限公司已经推销了具有16阵列或128阵列的9μm直径喷嘴的喷墨头（Fujipilm Dimatix公司，圣克拉拉，加利福尼亚州）。早在2004年，研究者展示了直径低至2.5μm的功能喷墨喷嘴^[56]，且很多制造商升级喷墨头使其具有更高的分辨率。更有可能的是以后利用充墨和静电喷射能制造出小于1μm的液滴^[57]。这种低于飞升（subfemtoliter）喷墨打印系统作为一个新兴行业开始商业化（SIJ Technology公司，茨城县，日本）。(www.xing528.com)

鉴于喷墨打印的本质是数据驱动，许多在这个环节被提到的作者也表态这对成型是非常理想的。在生产运行中，喷墨打印和丝网印制互相竞争，但当需求多材料和多校准步骤时喷墨打印更加适合，例如在传感器阵列的功能化中。

毫无疑问，将来在MEMS制造技术上会有性能的提升。然而，喷墨打印应该继续作为一个MEMS成型和生产中的低成本研究和生产工具。