多曝光文档是在多个β角下采集多点衍射峰，使用sin2Ψ法来计算应力。其既可以计算正应力又可以计算剪应力。结果在一个综合报告中给出，而且文件自动保存。可以再修改，再保存。
在一个单独文件中采集了一个背底，可以点击MET按钮或者在主菜单上文件—新建—多次曝光打开多次曝光文档。
文档会显示另外两个窗口，一个是sin2Ψ图表，一个是应力报告。背底自动继续到新文件中。
所有测量参数都被定义及设置后，背底自动继续到新文件中。如不是，可以选择文件—打开增益打开一个存在的背底。文档采集后左右的背底文件自动分别保存。
把待测样品放在测角仪下，用手动或自动方法调节聚焦。
打开X射线，调节功率（k V和m A）及曝光次数到常数对话框中，设定衍射峰采集的初始值。
5.2.1 多衍射采集
选择采集➨多次曝光技术来采集衍射峰（见左图）。
常数对话框显示如下：
对话框中包含β和Φ角。双击激活这些参数，然后输入β和Φ角。输入希望的最大β角及数目，程序会自动计算其他角，这些角通常都是以β＝0对称的，每个探测器都包含对应于Ψ＝0的两个β角：
对于两个探测器，Ψ＝β±（π－2θ）/2，这些值代替表中程序计算的最接近的值。有时如果最大β角值靠近该值，可以适当减少。
除了以上两个值，都可以手动更改。点击确认继续。如果系统安装了一个Φ转盘，就可以在多个角度进行测量。
输入Φ角个数，点击确认会出现以下对话框：(www.xing528.com)
同时，请确认选择的测量参数。点击确认，将看到β电机移动到第一个角去采集信息。如果选择摆动，会看到选择的轴开始移动并摆动。
测量过程中，每次采集完成后就可以显示衍射峰曲线，然后β电机移动到下一个角度进行采集，直到测量结束。
最后一次采集的衍射峰显示后，程序会在左边窗口显示d和sin2φ关系曲线，在右边窗口显示应力报告，如下图：
5.2.2 多背底采集
多背底采集，必须核对对话框中的β和Φ角，选择最大β角及使用个数，然后如下继续：
（1）放置背底材，正确聚焦。
（2）打开X射线。
（3）在主菜单中选：采集➨增益。
（4）系统就会从第一个β角开始到最后一个进行多背底采集。
注意：多背底采集经常是在衍射峰非常微弱的情况下才进行的。
选择的β角必须和衍射峰采集的β角在顺序和值上完全相同。只要选择了多背底选项，程序就会使用所有的背底在每个β角采集。如只用一个背底启动程序，就在β和Φ角对话框中取消多背底选项。
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