江上舟的四大中国芯片贡献

中芯国际的顺利发展，离不开江上舟的鼎力支持。江上舟并不满足于仅仅引入一个中芯国际，他还盯上了台积电、联华电子等台湾半导体行业的领军企业。2001年7月，江上舟亲自率领上海市工业经济联合会代表团赴台考察和招商。

台湾半导体厂来大陆投资是大势所趋，毕竟大陆是全球最大的芯片市场，而且利用大陆低廉的人力和土地成本可以大大提升企业的竞争力。富士康等台湾企业在大陆大展宏图让人眼馋。可以这么说，台湾企业不来大陆投资就很难做成世界级的大企业。

然而，台湾对半导体企业来大陆投资的限制很严，台湾三大半导体领军企业对江上舟带队的上海代表团的态度也有很大的差异。台积电态度是“不便接待”。张忠谋在被记者询问会不会往大陆发展时，很圆滑地回答了一个词“eventually”。记者认为是“终将”的意思，张忠谋不承认，他自己解释是“视不同事件（event）而定”的意思。台积电后来一直等到台湾放开政策了，才于2004年在上海松江建了它在大陆的第一座8英寸晶圆厂。

全球封测行业的老大，台湾日月光半导体公司原本没有安排与上海代表团接触。公司老总得知后，很是生气，要求其公关部长一定要联系见面。日月光一度试图以被外资私募基金收购的方式来绕过台湾当局的政策限制，终于如愿以偿在上海建立了大陆技术最先进、规模最大的封装测试厂，使大陆的封测技术直接提升三代以上。如今，中国大陆封测企业的技术实力和营收规模已进入世界第一梯队。

联华电子的曹兴诚则在深夜22点秘密接待了江上舟，承诺要来大陆投资。曹兴诚在台湾有枭雄之称，很讲义气、敢说敢做、说来就来。由于苏州给出了更优惠的政策，曹兴诚后来就改去了苏州建厂。2003年，曹兴诚以“援助”的方式间接创立的苏州和舰科技投产，总投资12亿美元，月产量可达8万片晶圆。这也是联华电子在全球最大的8英寸晶圆厂。据称，曹兴诚非常崇拜郑和七下西洋的壮举，和舰科技的名称由此而来，在工厂设计上，曹兴诚还专门提出要求，将厂区的建筑打造成了一艘即将要启航的战船。这艘以和平为目的的战船，给曹兴诚带来了大麻烦。曹兴诚在台湾当局政策未开放的情况下强行“登陆”，由此遭到严厉的打击。新竹地检署开展大搜查，就连联华电子高层管理人员的私人住宅都遭到多次突击检查。

有的企业家碰到司法问题，通常先躲起来，然后找个底下人来顶罪，看看能不能过得去。曹兴诚却“在第一时间立刻跳出来说，这个事情，帮助苏州和舰，是我的决策，我一个人负全部责任。同时我把它用白纸黑字登在报纸广告上面。然后说，这个检调要找，找我一个人麻烦就好了，我的企业你不要碰，员工也不要碰。所以说，后来他们也没有办法，只好以我为侦办对象。后来它一起诉，我就把联电董事长的位置辞掉了，我就是用一个老百姓的身份去跟他做一个司法的对抗。”^[1]他还半讥讽地说：“如果早上搭飞机去上海，傍晚再坐飞机回台湾，这样就不算出走大陆了吧。”

强硬的态度最终给他带来了台湾当局对其的起诉以及绵延不绝的“政治”麻烦。因为诉讼频频，曹兴诚于2005年6月辞去“国策顾问”的职位。经过两年多的审理，2007年10月，台湾新竹地方法院裁定曹兴诚在和舰案中无罪。曹兴诚于2008年退休，时年不过61岁。在2011年，伤心失意的曹兴诚宣布放弃台湾户籍，入籍新加坡。

芯片制造厂和封测厂仅是江上舟所期望的半导体产业链中的两个环节，他还力推中国半导体设备业的发展，试图建设完整的半导体产业链。半导体设备的开发要超前芯片制造三到五年，中国芯片制造厂的落后很大程度上是因为半导体设备产业的极端落后，所以不得不受制于人。半导体设备技术难度高、研发周期长、投资金额高、依赖高级技术人员和高水平的研发手段，具备非常高的技术门槛。全球半导体设备市场被美国、日本和荷兰主导，其中仅美国就占了近40%的份额。江上舟每每痛心疾首：“国外企业关键设备是不给你的，他们把一些闲置的、报废了的设备和没用的技术高价卖给你，结果你亏死了。等你该升到那一级了，人家早报废完了淘汰掉了……我们这样惨痛的教训还少吗？”他野心勃勃地期望：“在微电子产业方面，不是搞一两个（企业），而是搞整个产业链。”他估计，未来十五年内，中国将在芯片生产线上投资1000亿美元，其中半导体专用设备和工艺技术的引进费用约700亿美元。这么大的一个需求，怎么能完全依赖国外进口？只有自主发展中国自己的半导体设备制造业，才能打破国际技术封锁与价格垄断，否则，中国“就会永远无法赚取超额利润发展自己，也永远无法进口非垄断价格的国际主流技术集成电路生产线”。2001年6月，他率先提出要打破国际技术封锁，填补半导体专用设备制造空白，增强微电子产业的发展后劲。

江上舟特别关注的是有“半导体产业皇冠上的明珠”之美誉的光刻机。中国光刻机设备的研制起步并不晚，从20世纪70年代开始就先后有清华大学精密仪器系、中科院光电技术研究所、中国电子科技集团公司45所投入研制。1977年，中国第一台光刻机诞生，加工的晶圆直径为3英寸。1985年，45所研制出了分步投影式光刻机样机，通过电子工业部技术鉴定，认为其达到美国DSW4800的水平。但国产的光刻机基本上都停留在实验室里，产业化做得很差。江上舟主张将光刻机项目列入“十五”国家重大专项，他说：“中国要从芯片的消费大国转变为芯片的制造大国，必须攻克这个堡垒，掌握这一核心技术。”在当时，反对光刻机设备业筹建的呼声很高，很多人认为中国不具备这个条件，不要搞，但江中舟认为一定要上，中国必须发展高科技。2002年，光刻机被列入国家高科技研究发展计划（863计划）。江上舟牵头，由科技部和上海市共同推动成立了上海微电子装备有限公司来承担主要技术攻关任务。上海微电子让中国光刻机技术取得重大的进步，还实现了出口。在将近二十年后的今天，我们面对极紫外线光刻机无法进口的尴尬，不能不感慨当年的江上舟是何等的具有真知灼见，也遗憾在江上舟之后再无人像他一样重视和推动光刻机的自主研发。

刻蚀机是重要性仅次于光刻机的半导体设备，专业做刻蚀机的中微半导体设备（上海）有限公司，也从江上舟的帮助中受益良多。“江上舟听到好的团队时，眼睛会放光的。”中微半导体的创始人尹志尧就是这样一位能让江上舟双眼放光的顶尖人才。

尹志尧是“文革”后国内最早一批从北京大学到加州大学洛杉矶分校去的留学生，后进入英特尔研发中心技术开发部工作。1980年，美籍华人林杰屏在硅谷创立了泛林科技，主要生产刻蚀设备。泛林科技邀请在英特尔负责设备评测的尹志尧加盟。经过苦心钻研，尹志尧先后发布了Rainbow 4500介质刻蚀机和等离子体刻蚀机，产品性能和操作便捷性都大大优于美国应用材料公司的刻蚀设备。泛林科技在全球刻蚀设备市场的占有率在20世纪90年代超过美国应用材料公司，到现在还保持着占有全球刻蚀设备一半的市场份额。美国应用材料公司将尹志尧挖去做副总裁，大大提升了它的刻蚀设备的技术水平。尹志尧是美国高科技大公司里早期中国留学生中任职最高的一位，是国际半导体设备行业的领军人物。

在江上舟的感召下，2004年，年已60岁的尹志尧从美国应用材料公司退休并回国创业。江上舟推动上海市将尹志尧的刻蚀设备项目列入“科教兴市”重点项目，说服上海市通过上海创投公司给尹志尧提供了5000万元的启动资金，还帮助其取得国务院高科技发展重大项目的资助。江中舟邀请国家开发银行董事长陈元来沪访问视察，给中微半导体争取了5000万美元的贷款。这也是国开行有史以来第二次给民营企业这么大的支持。(www.xing528.com)

尹志尧带领30多人的团队从零开始，仅用三年时间就在业界首次开发了双反应台介质刻蚀除胶一体机，效率比同类产品高出30%以上。这也是中国第一次能够生产出这样高端的半导体设备。之后十年，中微半导体自主研发了应用于65纳米、45纳米等越来越先进工艺制程的一系列等离子体刻蚀设备，成功得到多家国际领先的芯片制造企业的订单，实现中国大陆高端半导体设备出口的零突破。恼羞成怒的美国应用材料公司和泛林科技两大半导体设备巨头分别在美国和中国台湾状告中微半导体窃密和侵权。在创业之初，尹志尧就预料到做高端半导体设备必遭竞争对手打压，提前做好各项准备。刚回国时，尹志尧要求人人签字画押，承诺不从美国带走任何资料。产品开发过程中，中微半导体的研发团队深入分析刻蚀机已有的3000多个国际专利，小心避开，做自己的原创设计。由于准备充分，中微半导体和美国应用材料公司取得了积极的和解，在和泛林科技的官司中取得胜诉，为其获得国际订单扫除了知识产权障碍。

中微半导体成为中国少有的半导体设备全球一线供应商。没有江上舟的引进，就不会有今天的中微半导体。尹志尧盛赞江上舟是“我们的引路人”，是“我们见到过的最有原则的共产党员”。

曾经有业内专家总结了江上舟对中国芯片产业的四大贡献：一是在国内芯片产业低潮时超前提出芯片发展战略，“如提出10条线，那时谁也不敢说”；二是成功引进外资投入芯片；三是营造了芯片产业发展的良好政策环境；四是提出建立一个全国集成电路研发中心。

芯片的工艺研发，特别是规模化的大生产技术，是一项投资巨大、风险巨大、过程复杂的艰难事业，单独靠一家企业或一家科研单位是很难实现的。2001年6月，江上舟正式提出要建“国家微电子工业技术研发中心”，他相信以研发中心为基础，“必将在十年左右的时间内实现我国成为微电子工业强国的目标”！国家也发文明确提出，“国家支持组建一至两家产学研相结合的集成电路研发中心。”在国家“十一五”规划纲要中对这一主张再次加以肯定：“建设集成电路研发中心，实现90纳米以下集成电路工艺技术产业化。”

正好华虹NEC从IMEC引进的技术也需要一个研发基地进行消化和吸收，以形成自主的知识产权。于是，2002年12月，由华虹集团、复旦大学、上海交通大学、华东师范大学、上海贝岭等单位共同出资组建的上海集成电路研发中心正式成立，注册资本为1.5亿元。研发中心开建了一条具有国际先进水平的独立中试线，美国应用材料公司同意向研发中心提供价值8亿美元的设备，首期无偿提供价值5400万美元的0.13微米铜制程工艺设备，这也是当时国内最先进的芯片制造设备。

研发中心成立后，实实在在地做了许多事情，比如为国内的半导体生产线提供技术支持和升级服务，为改变国内芯片制造工艺引进一代落后一代的被动局面做出重要贡献。研发中心还可做风力、压力承受等检测，使得那些使用进口设备的厂家节省了大笔原本要向国外交纳的检测费。2007年5月，国家发改委核准将上海集成电路研发中心升级为国家级的集成电路研发中心，实现了江上舟最初的建议。

江上舟操心最多的还是中芯国际。2004年，我国集成电路产业继续保持快速增长，芯片产量突破200亿块，销售收入超过500亿元。中国集成电路产业总产值同比增长45%，为全球同期最高。其中，中芯国际一家企业就占了中国集成电路产业总产值的10%、制造产值的30%（中国半导体行业协会数据）。

中芯国际声名鹊起，时任中芯国际非执行董事的王阳元却对它有着自己的评价：“中芯国际既是中国芯片制造业的又一个里程碑，也不全是中国集成电路芯片制造业的里程碑。”他解释说：“说它是里程碑是因为它把中国集成电路技术水平与全球先进水平的差距由原来的四五个技术节点缩小到一两个，实现了中国芯片制造业的历史性突破；说它不是里程碑，则是因为中芯国际还没有真正掌握一大批具有世界前沿水平的自主知识产权。但是，我们希望将来的中芯国际能够掌握国际前端技术，能在某些领域引领世界潮流，成为又一个真正的里程碑。”

王阳元认为，自主知识产权是形成集成电路产业核心竞争力的关键。集成电路产业是资金高投入、技术高密集、高度国际化的产业，但真正阻碍后发国家进入国际集成电路产业领域的是技术。不能在产品设计和制造工艺技术上拥有一批自主知识产权，就永远难以在国际市场中生存与发展。

中芯国际存在着的自主知识产权不足的隐患，不幸被王阳元言中。中芯国际的急速发展，让一直对中芯国际保持警惕的台积电坐不住了。在张忠谋看来：你刚把工厂卖给我，就从厂里挖走不少人去建一座业务相近的工厂，这也太不地道了吧？教父很生气，后果很严重。